氣密性測試是產(chǎn)品質(zhì)量控制的重要環(huán)節(jié)，小到一部手機、一個藥瓶，大到汽車發(fā)動機甚至航空航天關(guān)鍵設(shè)備，能否有效密封都關(guān)系到產(chǎn)品性能甚至安全性。1986年美國挑戰(zhàn)者號航天飛機在起飛后73秒就發(fā)生爆炸，導(dǎo)致七名宇航員不幸遇難，事后查明原因僅僅是因為右側(cè)助推器一個O型密封圈失效導(dǎo)致燃料泄漏。如果事先對該密封部位進行細致的氣密性測試則可很大程度上避免災(zāi)難的發(fā)生。可見，氣密性測試在諸多行業(yè)中都顯得尤為重要。

挑戰(zhàn)者號航天飛機空難

氣密性測試通常有壓差法、流量法和氦檢三種。壓差法技術(shù)難度較低同時效果也一般；流量法對管路設(shè)計有較高要求；氦檢精度高，但造價昂貴。德國著名的普發(fā)真空主流的氣密性測試設(shè)備采用的就是流量法和氦檢。其中流量法的核心部件就是高性能氣體質(zhì)量流量計。

流量法檢漏設(shè)備根據(jù)被測產(chǎn)品性質(zhì)不同分為質(zhì)量流量檢漏儀和真空檢漏儀。

質(zhì)量流量檢漏儀

將被測產(chǎn)品放入一定容腔內(nèi)，通過壓力源經(jīng)充氣排氣閥給容腔充氣使壓力達到一定值，關(guān)閉充氣排氣閥，切換流量選擇閥，使流量計一端接壓力源，一端接被測產(chǎn)品，此時流量計兩端應(yīng)處于壓力平衡狀態(tài)，流量為0。如果被測產(chǎn)品有泄漏，流量計右側(cè)壓力會降低，氣體在壓力源的壓力下產(chǎn)生流動，流量計產(chǎn)生讀數(shù)，當讀數(shù)超過一定值時可判定為被測產(chǎn)品不合格。

真空檢漏儀

將被測產(chǎn)品放入一定容腔內(nèi)，通過真空泵經(jīng)流量隔離閥將檢測容腔抽至所需的負壓狀態(tài)，關(guān)閉流量隔離閥，此時流量計兩端均處于負壓平衡狀態(tài)，流量為0。如果被測產(chǎn)品有泄漏，檢測容腔內(nèi)壓力升高，氣體從檢測容腔經(jīng)過流量計流向真空容器，流量計產(chǎn)生讀數(shù)，當讀數(shù)超過一定值時可判定為被測產(chǎn)品不合格。

應(yīng)用在這兩種場景下的流量計推必須具備以下特點：

·極快的流量響應(yīng)速度；

·流量測量的高精度、高靈敏性；

·寬量程比，在全量程段上性能優(yōu)異；

·能夠測微小流量；

·良好的穩(wěn)定性、重復(fù)性；

·較寬的溫度和壓力適用范圍；

·較低的壓力損失。

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·在20%～100%量程范圍內(nèi)保持±1.0%Rd精度；

·100:1量程比，可定制更寬量程比；

·最小滿量程0.5SCCM，可測0.005mL/min的極微流量；

·先進的層流壓差原理，高性能傳感器，確保了測量的高可靠性和高穩(wěn)定性；

·-20～50℃的溫度適用范圍，0～1MPa的壓力適用范圍，幾乎涵蓋所有測試場景；

·壓損低至2kPa甚至800Pa，可定制更低壓損；

·多種氣體介質(zhì)任意切換；

·可根據(jù)客戶需求定制真空型號。

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·單位切換、介質(zhì)切換僅需動動手指，簡單方便。